二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9244824 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是為先進光刻設計的光刻設備。該系統為研究人員和行業專業人員提供高分辨率、可重現和健壯的模式能力，以便在先進的半導體晶圓技術中開發電子電路。該單元基於一種自對準的多層抗蝕劑技術，能夠對納米粒子進行高分辨率的陣列，並完全控制圖形的幾何形狀和大小。抗蝕劑機器由深紫外線光源和抗蝕劑配方組成，為最佳的圖樣性能量身定制。深層紫外線光源允許高精度和高效的模式的抗蝕層具有廣泛的曝光範圍。設計了抗蝕劑配方，對圖案尺寸及其平版印刷特性進行精確控制，實現了良好的圖案保真度和可重復性。這些功能為工具提供了高生產力和均勻性,使其成為高性能內存和圖像傳感器等關鍵應用領域的理想選擇。該資產支持混合層光刻，使設計者能夠將幾層正負抗蝕劑組合在一起，以精確控制生產中的圖樣尺寸和其他關鍵參數。此外,該模型還具有高級自動聚焦和自動曝光功能,並具有預先編程的過程參數,可重復和準確的結果。TEL ACT 8設備配備了直觀的界面和用戶友好的控件，為用戶提供了對所有工藝參數的方便和精確的訪問。它還附帶了全面的文檔和廣泛的應用程序支持。該系統與廣泛的蝕刻沈積工藝兼容，還支持多項目晶圓功能。TOKYO ELECTRON ACT 8是一種多功能、有效的光刻裝置，為用戶提供先進的光刻性能和可重復性。它具有先進的自動聚焦和曝光功能以及可靠的過程保真度,即使應用要求苛刻,也能提供出色的模式控制。其全面的支持和用戶友好的界面使其成為研究實驗室和生產環境的理想選擇。
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