二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251354 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL Limited(TOKYO ELECTRON)開發的先進光刻設備。它是一個高性能的陣列系統,非常適合以極高的精度創建復雜的設計。該裝置廣泛應用於微電子和半導體工業,用於制造集成電路的復雜設計。TEL ACT 8使用高精度光學機器,使用一種稱為激光的聚焦光源。這種激光用於曝光一種稱為光刻膠的感光材料,可以通過光的應用來改變。光敏抗蝕劑首先在薄層中應用於基板,如矽片或電路板。激光隨後被聚焦到這層光致抗蝕劑上,來自光源的能量會引起改變光致抗蝕劑狀態的化學反應。這可以根據所使用的激光的波長使光刻膠變硬或變軟,從而使其被陣列化成特定的形狀。一旦曝光過程完成,可以使用開發和蝕刻等處理後步驟,從底物中去除殘留的光刻膠。這留下了一種可以作為集成電路或其他電子設備的一部分的電觸點模式。TOKYO ELECTRON ACT 8因其高精度和可靠性,比其他光刻膠系統有幾個優點。由於該工具是完全自動化的,因此它確保了可重復的結果,而操作員的幹預卻很少。此外,該資產還提供了與各種光刻材料的出色兼容性,從而在工藝步驟方面提供了最大的靈活性。ACT 8中使用的先進光學模型也確保了非常小的特徵可以在基板上精確的陣列,以創建復雜的設計。這使得它成為進一步的設備小型化和高級陣列應用的理想選擇。總之,ACT8光敏設備是微電子和半導體設備的理想選擇。它提供了卓越的精確度、與各種光刻材料的兼容性以及自動操作,以實現高效和可重復的結果。
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