二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251356 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）開發的光阻設備，設計用於電子器件處理。適用於門電極、互連圖樣、接觸塞形成等器件的大規模細線光刻。該系統包括光源、曝光室和曝光控制單元。光源是一種高功率的紫外線準分子激光器，在深層紫外線範圍內提供穩定的照明。它能夠提供具有均勻線寬和高度的優化曝光輪廓，以確保圖樣的精確打印。此外，曝光室還采用高精度光學機器，可實現一致的陣列。冷凝器和投影透鏡這兩種透鏡的組合，將高輻照度的光聚焦在光刻膠上。曝光控制工具是一個完全自動化的過程，能夠精確控制劑量和模式的小型化。這樣可以確保高質量的模式形成和優於手動操作的性能。它與用戶友好的GUI（圖形用戶界面）和可編程曝光參數管理集成在一起。此功能允許批量處理,並進一步減少曝光時間和成本。總體而言，TEL ACT 8是一種可靠且易於操作的光敏資產。其特點和性能允許高精度的圖案形成和最小化的缺陷。該模型可用於半導體器件制造、薄膜器件加工、印刷電路板制造等多種應用。