二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9253993 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是為集成電路和半導體制造中的光刻工藝而設計的光刻設備。它用於在晶片上創建模式以產生電路。該系統以酸催化熱氧化（ACT）為基礎，能夠對尺寸範圍廣泛的晶片進行陣列化。TEL ACT 8單元提供高分辨率成像機，能夠產生低至0.2微米的亞微米特性。利用光源放大技術，提高了制圖工藝的精度和分辨率。TOKYO ELECTRON ACT 8也利用多層處理來製造複雜的圖樣。按順序應用多層抗蝕劑,從而可以創建更精細的垂直分離抗蝕劑層。該工具的設計是為了提供出色的圖樣制作,從而產生高產量的產品.ADVACT 5掩模對準器是為了滿足生產規模光刻的高速和吞吐量要求而設計的。它可以在幹燥或潮濕的基板上運行，從而實現高度精確的光成像過程。它還具有自動晶片處理資產和紫外線抑制機制，有助於減少圖樣成像中的缺陷。該型號還包括一個多源燈座，支持一系列光源。燈座設計既提供高對比度又提供高分辨率，確保了一貫的高畫質。簡而言之，TEL ACT 8是一種先進的光刻設備，為半導體和集成電路的制造提供了高質量的圖像和圖樣制作工藝。它具有多層處理、高分辨率成像系統、自動晶圓處理和多源燈座。該系統旨在提高圖樣成像的吞吐量和產量。