二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9262481 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款提供卓越精度和重復性的全自動光刻設備。該系統采用高分辨率成像光學、精確運動控制和高級軟件算法，以確保化學放大的抗性處理一致性。TEL ACT 8的光學器件賦予其光刻成像所需的準確性和分辨率。光學單元包括一個大功率汞弧燈、一個光學冷凝器、一個照明機、一個用於在晶圓上成像的光學掩蔽投影工具，以及一個具有regiogen驅動聚焦機構的處理器單元，可以檢測、測量和控制焦點。光學器件配置為獲取3D圖像以獲得最高精度。TOKYO ELECTRON ACT 8的底盤包括一個舷外電機電機控制資產，驅動高精度機械臂的運動，用於機器的精確定位和晶圓的曝光。此模型還包括一個張力裝置,可確保在成像和處理步驟期間對掩模進行適當的張力。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8的軟件旨在為正在處理的晶圓的任何給定部分提供統一的沈積和暴露參數。軟件還包括多個流程參數監控功能以及診斷和反饋機制，允許調整參數以保持一致的性能。ACT8光敏設備是目前市場上最準確可靠的系統。它非常適合於半導體和微系統的制造，以及其他光致抗蝕劑相關的工藝。該設備提供的精確度和可重復性允許極其精確的圖像傳輸和最高質量的設備制造。