二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9279593 待售
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ID: 9279593
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
R Type
In-line
Block: 2
Hard Disk Drive (HDD)
Loader
Main controller type: Type #3
Coater:
(3) Nozzles
RRC Pump
(2) Buffer tanks: 3 L
Side rinse (EBR)
(2) Back side rinses
Developer:
H Nozzle type
(2) Buffer tanks: 3 L
(2) Rinse nozzles
(2) Back side rinses
(2) Adhesion process stations (ADH )
(12) Low temperature Hot Plate stations (LHP)
(2) High Temperature Hot Plate Process Station (HHP)
(8) Chiller Plate Place (CPL)
(4) Transition Stage (TRS)
(4) Chilling Hot Plate (CHP)
(2) Cup Washer Holder (CWH)
(2) Shuttle Module (SHU)
IFM
EIS Type: ASML
WEE
AC Power box
Chemical box
Temperature controller
T and H
MFC.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種為先進的晶圓級工藝而設計的光致抗蝕劑設備。該系統結合了高級自動化功能和手動用戶控制,提供了高度的靈活性、準確性和效率。TEL ACT 8包括幾個集成組件,包括廣播噴霧器、光刻塗層、模塊和多個炮塔系統。用於微調光致抗蝕劑的噴霧器按照一步一步的過程工作；首先預混合光致抗蝕劑，然後使用可控的爆破壓力和噴霧速度在晶片上均勻噴灑。從那裏開始，塗料使用固定的噴霧寬度和轉數來保持均勻的薄膜厚度，這是高分辨率處理的關鍵步驟。TOKYO ELECTRON ACT 8模塊用於在編程的曝光周期開始之前加熱、對準和聚焦工具的光束。使用模塊的高功率光學桶可以微調耐熱性和化學性,這也有助於保持穩定、均勻的處理溫度。為了進一步確保準確性和效率，炮塔系統設計用於相機和投影儀之間的無縫集成。可伸縮的炮塔臂有助於快速、經濟高效地更換模塊，而高速自動對焦裝置則有助於相機和投影儀在一系列光刻材料上精確對準。總體而言，ACT 8為用戶提供了一種創新的光刻膠解決方案，旨在提高精度和效率。該機器將高級自動化功能與用戶指定的控件結合在一起,從而實現最大的靈活性和可靠性。TOKYO ELECTRON ACT 8工具憑借其無偏見和可重復的結果，還簡化了光致抗蝕劑工藝，降低了間接費用，增加了潛在的投資回報。
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