二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9281476 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9281476
(2) Coater / (3) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種光阻設備,在電子工業中廣泛用於光刻和直接成像過程。該系統是一個全自動的可編程單元,為用戶提供處理各種基板的能力。TEL ACT 8由真空處理室、模式識別站和過程控制中心組成。真空處理室由陰極和陽極兩部分組成,連接到基板支架上。真空處理室的設計旨在為光刻工藝提供一致、精確的腔室環境。該機設計有耐化學的鋁室襯裏,以保護底物免受環境中可能存在的其他化學物質的氧化或汙染。模式識別工作站使用加載到工具上的已編程CAD文件。然後,資產將根據CAD設計生成在光刻過程中使用的模式庫。模式識別軟件還可用於檢測主模式的微觀變化,允許在原始模式和最終產品之間進行調整。工藝控制中心為用戶提供了一種化學浴控制和基板運動控制的手段。控制中心允許用戶根據所需的化學蝕刻或沈積過程微調化學濃度和溫度。這允許用戶控制從腔室內制造的基板的確切物理特性。該模型可用於加工玻璃、矽、二氧化矽、石英等基材。設備極為精確,允許其他機器無法再現的極其精確的沈積過程。該系統設計為用戶友好,允許專業和休閑用戶快速、輕松地調整各種基板的工藝設置。總之,TOKYO ELECTRON ACT 8是一種先進的、高技術的光敏裝置,設計用於電子工業的光刻和直接成像過程。該機器提供了一個可靠、精確的環境,在其中處理各種基材,並對最終產品的精確物理特性進行了極好的控制。此工具提供了更高的準確性和一致性,並且用戶友好,使其成為電子行業的理想資產。
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