二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9283788 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種光刻設備，設計用於半導體工業中的光刻。它是一個晶片步進系統，利用電阻開發過程將圖樣從光掩模轉移到矽片。該單元通過光掩模將光刻塗層的晶片暴露於光中，從而在晶片上創建圖像。然後將圖像從晶片傳輸到電阻顯影層，用於在光刻膠層中形成圖樣。機器被安置在一個隔熱的外殼中，並配有兩個加熱系統，一個溫度控制的晶圓冷卻工具和一個量身定制的電機控制資產。它采用高分辨率八英寸Koehler高分辨率自動對焦模型來精確繪制半導體晶片的圖樣。該設備能夠處理直徑不超過8英寸、成像分辨率不超過4微米的矽片。TEL ACT 8利用了廣泛的操作模式,包括分辨率增強、自動曝光級別和不同的圖像源,允許進行微調以獲得最佳效果。它還與多種化學材料、塗層工藝和防護面膜兼容。TOKYO ELECTRON ACT 8通過直觀易用的軟件解決方案進行控制。該系統還提供了一系列圖形工具和交互式功能，以促進單元操作和改進結果。它專為快速設置和操作而設計，能夠在手動和自動模式下運行。ACT 8還提供各種跟蹤選項，包括曝光圖、逐層晶圓映射和自動層放置。它采用自動緩沖設計，以最小的速度損失提供高速光刻膠開發。其自動裝載機還允許晶圓的快速裝卸。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 8是一款功能強大、用途廣泛的光刻機，專為高速晶圓處理而設計。它能夠以最小的速度損失產生高度精確的圖樣，為半導體行業的先進光刻要求提供了理想的解決方案。