二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9285382 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種光阻設備，設計用於提供經濟高效、高性能的表面處理。該系統是用於清潔、烘烤和開發應用於基板的光刻膠的自動化工具。它使用氦氣、氮氣和氧氣的組合運行，可以處理尺寸達8英寸的底物。TEL ACT 8主要由光敏塗抹器和圖像傳遞室兩個部分組成。在光致抗蝕劑塗抹機中，氦氣用於在基材上塗抹光致抗蝕劑薄膜，而氮氣則用於在烘烤室中烘烤前穩定光致抗蝕劑。接下來是由可編程邏輯控制器（PLC）控制的高溫烘烤循環。基材塗上光刻膠烘烤後，送入圖像傳遞室。在這裏，一層光致抗蝕劑為了制造一個圖案而暴露於光中。曝光源位於基板頂部並加以控制，以提供所需的圖樣。在此之後，基板由空氣、氮氣和顯影劑聯合開發。最後，沖洗浴去除了多余的抗蝕劑。TOKYO ELECTRON ACT 8可以編程為自動調整各種參數，包括溫度、曝光水平、工藝時間和顯影劑成分。這允許在不同的基板上使用各種各樣的光刻膠元件。此外,該單元還包括一個復雜的控制接口,它可以遠程操作,並且可以輕松集成到自動化生產系統中。總之，TEL ACT 8是一種光致抗蝕劑機器，旨在提供精確、經濟高效的表面處理。它配備了自動化功能，可以調整各種參數，以及對工具進行遠程控制。通過使用氦氣、氮氣和氧氣，以及高溫烘烤循環，ACT 8使得光致抗蝕劑的清潔、烘烤和開發可以用最小的努力實現。