二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9290883 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種高科技光刻設備，用於先進的光刻，具有分辨率ofaccommodating sub-25納米器件。該系統將傳統光刻技術的高精度功能與一套強大的自動化和機器人技術相結合。TEL ACT 8具有先進的光學投影單元，配有4X點對點（P2P）鏡頭，以實現亞25納米器件的高品質處理精度。該機的無掩碼光刻能力是業內最先進的。TOKYO ELECTRON ACT 8包括TEL Laser Pattern Generator（LPG），它使用超分辨率對準和激光脈沖來選擇性地暴露目標光抗蝕劑。液化石油氣的設計是為了提高分辨率和覆蓋精度，同時減少線寬變化。該工具還具有多場縫合功能，這是一種創新的復合功能，能夠實現亞分辨率縫合（CFS）和大型晶片的模模縫合（D2D）。TOKYO ELECTRON ACT 8的掃描儀非常適合精確度極高的臨界微量零件，這要歸功於光致抗蝕劑與可信且經過驗證的TOKYO ELECTRON步進器和掩模的結合。它擁有高分辨率成像資產,像素大小為1.0微米,因此有資格解決極小的特征。步進器使用晶片前端機器人（WFE），以確保更快可靠的晶片傳輸，同時將汙染降至最低。TEL ACT 8采用多種自動化技術來優化模型速度和晶圓吞吐量。先進的全晶片級機器人頭（FWR）設備可實現高速晶片處理,而Autostep實時多場曝光可同時在晶片上提供精確的磁場。實時場綜合（RTFS）功能確保了精度和出色的叠加效果。此外,系統的設置時間小於5分鐘,可以在幾秒鐘內重置。總體而言,來自TEL/TOKYO ELECTRON的ACT 8是一種功能強大的高級光刻工具,它為25納米以下的設備處理提供了多種功能和功能。它結合了最新的成像和自動化技術,為光掩碼和晶圓處理提供了高性能解決方案。它的快速設置和最低維護要求使其成為生產環境的理想選擇。