二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294152 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9294152
Spin On Dielectric (SOD) System.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光抗蝕劑設備是一種革命性的成像技術,在成像精度和速度方面提供卓越的性能。它旨在促進聚合物和氟材料的沈積和制圖,以制造一系列先進的高科技設備。TEL ACT 8系統是利用先進成像光學技術為微電子應用提供精確分辨率的光刻平臺。該裝置采用高能光束掃描技術,能夠快速掃描光刻材料。這種掃描技術能夠產生亞µm分辨率模式。此外,TOKYO ELECTRON ACT 8在從最苛刻的氟聚合物到傳統化學品的各種光刻材料中提供高質量的成像分辨率。除了令人印象深刻的成像能力外,ACT 8還包括一臺緊湊的圓柱形蒙版曝光機,用於靈活的圖樣應用。該蒙版曝光工具包括用於精確放置蒙版的高精度六軸電機和用於最佳光強度的水平和垂直線性可變濾波器。TEL ACT 8還提供了簡化過程控制的便捷用戶界面。其車載軟件使操作員能夠完全控制照相繪制過程的各個方面,從而能夠快速有效地排除故障。操作員可以方便地實時監控所有過程參數,包括曝光光、掃描速率和光照強度。ACT 8光抗蝕劑資產是一種創新的成像技術,可以快速高效地制作具有高精度細節的復雜光刻圖案。其先進的成像光學設備和簡化的用戶界面使照相比以往任何時候都更容易,而其高分辨率成像功能確保了在具有挑戰性的光刻應用中的卓越性能。
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