二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294543 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種最先進的光致抗蝕劑設備，具有精密、速度和尺度處理各種晶片的能力。該系統通過將晶片暴露於精確的偏振光波模式中來發揮作用。此模式由用戶定義的程序確定,該程序創建精確的曝光級別以確保陣列制作過程的一致性。該單元有一臺超快掃描機，運行速度是以前系統的兩倍，從而縮短了處理時間。它還具有一次批處理多個晶片、節省時間和提高吞吐量的功能。TEL ACT 8所利用的光刻膠工藝通過在晶片上施加感光膜來工作。當暴露在光線下時，產生光掩模會啟動制圖過程。將光掩模烘烤固化後，采用反應性離子蝕刻工藝在晶片上形成所需的圖案。通過結合曝光、烘烤和蝕刻，TOKYO ELECTRON ACT 8工具能夠持續精確地制作圖樣。資產還具有層叠加驗證模型，使檢查員能夠目視檢查和測量每一層的精度。由於先進的過濾和清潔策略，該設備還能夠降低顆粒水平。此外,系統還配備了邊緣放置精度和步長控制功能,可在陣列中實現精確的重復性。總體而言，ACT 8光致抗蝕劑工藝單元提供了一種高效、精確的晶片陣列和創建電路板的方法。該機的高速和批量處理能力加上其精確度水平，使其成為市場上最好的可用光刻膠系統之一。