二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9296903 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款用於半導體生產的先進光刻設備。它結合了兩種類型的技術；絕對精確光束掃描和單甲基丙烯酸甲酯（MMA）作為光致抗蝕劑。先進的光束掃描技術使系統能夠以納米精度寫入圖樣。MMA的使用使得產生納米尺度特征成為可能。此外,此單元還可以高效處理尺寸不超過6英寸的基材。使TEL ACT 8如此強大的核心技術是其電子束寫字機。它使用電子束，能夠將圖樣精確地傳送到基板上，使圖樣的分辨率小到2納米。這項技術還可用於將梁塑造成所需的圖案尺寸,從而確保精確的圖案。單一的MMA光刻膠提供了密封塗層，防止生產環境內的汙染。這使得微芯片完全沒有外部物質，這會損害所產生的模式的準確性。此外，MMA在室溫下快速發育幹燥，允許快速周轉。TOKYO ELECTRON ACT 8還利用熱輔助階段進行曝光後烘烤加工。這確保了任何困難的基材材料都能得到有效的處理，分辨率高達30nm很容易實現。通過使用信號處理技術，例如脈沖加倍和三倍，可以提供更高的精度。要操作ACT 8，用戶需要使用專用軟件。該軟件能夠旋轉、對準和微調光刻機上的圖樣。它還支持數據存儲和分析功能,從而能夠準確檢測細微的細節。歸根結底,這可以確保以正確的精度打印所需的圖案。總之，TEL ACT 8是一種強大的光阻工具，設計用於納米級半導體器件的精確陣列。它結合了先進的光束掃描技術和單一的MMA光致抗蝕劑，實現了所有基材的納米級精度。此外，資產由精密軟件控制，以獲得更高的精度，而熱輔助級則增加了更高的精度。