二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9311769 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
已售出
ID: 9311769
(2) Coater / (2) Developer system (4) Uni-cassette stations (2) Chill plate units (2) Adhesion units (9) LHP Transition unit Transition chill plate unit Type 4 ACT controller Number of resist nozzle: (3) Nozzles per COT unit: 2-1, 2-2 COT Nozzle 1: HV Pump (Iwaki HV-115-1) 2-1, 2-2 COT Nozzle 2: RRC Pump (F-T 100-3) 2-1, 2-2 COT Nozzle 3: No pump, no LE tank Developer nozzle Stream nozzle Components: (3) INR-24-264A Circulating pumps (3) INR-244-216C Circulating pump power supplies (2) INR-244-217B CPL Power supply modules Controller: INR-244-218F.
TEL (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8)是TOKYO ELECTRON開發的一種先進的光阻設備,用於對先進材料進行高效、準確和可靠的處理,例如用於制造半導體、高密度集成電路和其他電子元件的材料。該系統采用了多種操作技術,包括光刻、紫外線照射和蝕刻。TEL ACT 8機器是現有最先進的光刻膠系統之一。它具有全自動和用戶友好的界面,允許輕松高效的操作和設置。該單元還包括廣泛的配件,提供多種功能,以確保準確和一致的結果。其中包括高度精確的控制閥、精密的脈沖控制電路、電動樣品架、高壓發電機、石英燈插拔機和防靜電控制單元。光刻技術用於利用紫外線在半導體晶片上成像光敏塗層。通過操縱光強度和入射角,可以精確地制成光致抗蝕劑,在晶片上形成所需的形狀和圖案。TOKYO ELECTRON ACT 8配備了先進的光刻技術,能夠對光線進行精確的控制和定位,從而產生高精度的圖案。該工具還包含一個流過過程,允許從晶圓快速蝕刻光刻膠。憑借其高速高壓的能力,機器能夠從晶片表面快速蝕刻出未使用的光刻膠。該工藝階段對於準確可靠地制造電路至關重要。TEL ACT 8資產還包括紫外線曝光部分。該機配備了石英燈源和超快數據采集模型,可讓紫外線快速暴露在晶片上。高效的數據采集設備可以精確測量和存儲光的輸出,以便進一步處理。最後,該機器配備了多種安全功能,包括防靜電系統和有助於保護人員免受有害顆粒接觸的外殼。防靜電裝置的設計是為了降低靜電的電位,這會損壞或降低光刻膠的效率。總之,ACT 8是最先進的光刻膠系統之一。它結合了光刻、紫外線照射、蝕刻和安全特性,是制造先進集成電路的寶貴工具。這臺機器有助於確保半導體、高密度集成電路和其他電子元件的準確可靠的生產。
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