二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314464 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種具有先進化學處理的光刻設備。利用化學光束吸附技術，在光刻膜上的蝕刻圖樣具有較高的精度和精確度。該系統主要用於半導體生產和器件制造，設計方便用戶、高效。該單元使用四束掃描來最大化圖樣精度和精度，同時使用可變角度彈出器來降低邊緣粗糙度。它還利用先進的電子束成像（EBI）來實現高分辨率成像能力。使用EBI,圖像的分辨率可以降至2.5微米。包含了一個防摩爾函數，以防止圖像失真。該機包括用於堅固耐用的玻璃碳級、用於環保的惰性氣體清洗站以及用於精確曝光的不銹鋼導板。該系列在照片上保持穩定的抗蝕性厚度和CD（臨界維度）。光刻工具完成了一些自動化和手動控制。它配備了自動化的氣體沖洗站、允許高達150 m/s高速處理的高速控制以及離線模式編輯等自動化功能。此外,手動控制還提供了對過程的更精確控制,包括全局蒙版編輯、可調節的光強度和可調節的蒙版圖案大小。TEL ACT 8的設計既方便用戶又環保。它幾乎不需要維護，幹凈開放的設計保證了安全舒適的工作環境。該資產已獲得環境管理系統質量管理模型ISO14001的認證。這種先進的光刻設備非常適合半導體生產和器件制造過程。它提供高精度的圖案、穩定的抗厚度和高品質的成像，同時保持環保和用戶友好的設計。
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