二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314468 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是專門為光刻應用而設計的光刻設備。其主要目的是提供對基板上抗蝕性塗層的精確控制，使接觸孔等微米尺度特征得以暴露。該系統由幾個組件組成,每個組件都滿足特定的目的。主要部件是：真空軌道：這是由不銹鋼制成的，並允許基板通過單元內的各個站。它還有助於確保均勻的抗性塗層。晶圓放置機：利用步進電機將基板精確定位到刀具內部的精確位置。塗層室：這是將抗蝕劑塗抹並烘烤到基材上的地方。腔室還控制腔室內部的環境條件，以達到均勻的抗蝕塗層。一種抗蝕劑塗抹器：使用自旋塗層工藝將抗蝕劑施加到基板上.高分辨率熱成像資產：該模型允許暴露微米級特征，如接觸孔。它由一個加熱元件和一條繞基板移動並精確控制溫度的冷卻管線組成。一種激光束曝光設備：該系統使用激光束來曝光基板上光敏層上的圖案。總體而言，TEL ACT 8光致抗蝕劑裝置的設計是為了對基板上的抗蝕劑塗層提供可靠和精確的控制，確保令人滿意的結果。該機占地面積小，熱控性好，可用於多種應用。憑借其高分辨率的成像能力，它還可以輕松暴露微米級特征。該工具還為用戶提供各種設置，以針對每個用戶的特定需求優化流程。這使得它成為光刻應用的寶貴工具，對於先進的微加工工藝至關重要。