二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9315802 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是提供精確納米級光刻和蝕刻的下一代光刻設備。它是TEL及其合作夥伴TOKYO ELECTRON設計制造的一系列產品的一部分。TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL ACT 8在光刻工藝控制方面提供了前所未有的精度、速度和靈活性。該系統由一個由高性能數字媒體控制器供電的主光刻單元組成。光刻單元能夠處理各種材料，包括玻璃、聚酰亞胺、氧化二氧化矽和其他金屬。也可用於執行需要高精度的臨界蝕刻過程，如等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻、離子束蝕刻等。機器的主要部件包括數字媒體控制器、傳感器、噴嘴和各種工藝儀器。數字媒體控制器負責控制工具參數，包括曝光時間、聚焦距離和焦點。傳感器測量材料的表面地形，使資產能夠維持所需的暴露條件。噴嘴用於在材料表面上釋放少量蝕刻或光刻材料，確保滿足所需的工藝要求。該模型還包括一系列能源和工藝選項。這允許以納米級精度形成結構和圖案。設備使用多種能源和工藝選項，包括圖樣發生器、激光掃描系統、直接激光寫入和電子束光刻。此外，該系統還配備了一個集成的氦氙照明單元，以提供樣品表面的均勻照明。TOKYO ELECTRON ACT 8是一款先進的精密光刻和蝕刻機。適用於微電子、光電、醫療設備封裝、MEMS設計等工藝。它能夠以卓越的精度、速度和靈活性制造納米級結構。該工具的綜合工具集和可靠的性能使其成為高精度光刻和蝕刻應用的絕佳選擇。