二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9352785 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種光致抗蝕劑設備，設計用於半導體制造的塗層、對準和曝光光致抗蝕劑。該系統結合了高速操作和卓越的結果可重復性,具有靈活性,用戶可以自定義其光刻膠使用,以便針對其特定過程進行優化。TEL ACT 8設計具有很高的吞吐量能力，與基於連續高速、高精度邊緣控制的兩級機器人掃描模式保持一致。對於大型基板,這種流線型方法允許塗層、校準和以高達1000 mm/sec的速度曝光。該裝置還配備了先進的熱控制機，即使在大批量過程中也能提供穩定的厚度和組成結果，並設計用於激進的操作坡道。為確保溫度範圍和性能均勻，TOKYO ELECTRON ACT 8還設計了多區環境控制工具。這一資產能夠保持沈積和其他工藝在狹窄的溫度範圍內運行，並確保每個循環都能達到光刻膠層的正確組成和厚度。ACT 8模型還具有先進的真空設備，有助於減少汙染，提高曝光均勻性，並提供更高的成像精度。該系統通過計算機進行控制，模塊化設計，以提供靈活性，並確保高效的維護和單元升級。綜上所述，TOKYO ELECTRON ACT 8是一款先進的光刻機，提供高速操作和結果重現性的結合。該工具旨在將沈積和暴露保持在非常狹窄的溫度範圍內，以確保均勻性和準確性，並具有先進的真空資產，以減少汙染物和增加暴露均勻性。計算機控制模型經過模塊化設計，便於維護和更新，並提供了高水平的用戶定制能力，以針對特定的工藝需求優化光刻設備。