二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9401926 待售
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單擊可縮放
ID: 9401926
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
(3) Coater / (3) Developer system, 8"
AC Power box
Wafer flow: Left to right
Controller
THC: ESA-4-D-02
IFB
Coater unit:
2-1, 2-2: (8) Dispense nozzles
2-3: (4) Dispense nozzles
RRC Pump
Developer unit:
E3 Nozzle
TCU:
(7) CLLO Power sources
(8) Pumps
Chemical box 1:
PR Bottle
(8) RRC Pumps
Chemical box 2:
HMDS
Thinner: (2) Tanks auto supply
DEV: (2) Tanks auto supply
Missing parts:
3-1, 3-3: Spin motor driver
IRA Main Y driver, Z driver
WEE Lamp house
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是專門為研發應用而設計的最先進的光敏設備。該系統采用雙傳感器技術檢測基板中存在的光致抗蝕劑。它也可用於檢測基板內的圖樣化過程中的不規則性，使其成為研究的理想選擇。該裝置的雙傳感器提供了出色的分辨率,具有0.1至7.0微米的超高分辨率,能夠為各種研究和生產應用設計陣列。除了卓越的精度，TEL ACT 8還配備了溫度和電壓調節器，以確保準確的結果。傳感器還可以檢測整個基板不同深度的光阻。TOKYO ELECTRON ACT 8還提供多種軟體工具，包括電氣、機械和光學測試參數。它可以模擬薄膜沈積、等離子體蝕刻等多種過程。此外,該機器還具有存儲不同工藝參數以供將來參考的能力,以便研究人員能夠輕松地重復一項任務或修改該工藝。除了其主要功能外，TEL ACT 8還具有許多集成控制外圍設備，如電源監視器、自動厚度控制器和真空室。這些功能使該工具成為研發專業人員的高度重視資產。總體而言，ACT 8是一種可靠、準確的光刻膠資產，設計時考慮到研發應用。它的雙傳感器技術使用戶能夠檢測到陣列化過程中的不規則性，並存儲過程參數以供將來參考。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8擁有許多集成的控制外圍設備,使用戶能夠在存儲重要數據的同時模擬和控制各種過程。這使得它成為研究和生產應用的寶貴工具。
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