二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9407748 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種最先進的光刻膠處理解決方案，旨在滿足微機電系統（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）生產的廣泛要求。該設備兼具紡絲和皮帶工藝，適合多種光刻膠加工應用。它旨在提供卓越的性能、高吞吐量和高水平的過程靈活性。TEL ACT 8能夠處理光敏抗蝕劑圖樣和亞微米級結構。它專為微米和納米米範圍內典型尺寸的多層MEMS器件的大批量生產而設計。該系統配備了一個高性能表面塗層站，可處理各種基材，表面塗層精密，厚度可達18 μ米。TOKYO ELECTRON ACT 8配備了多種控制技術，包括多區自旋塗層、數字噴墨打印機、卷對卷晶片前、二維掩模對準、近場投影顯微鏡和集成過程反饋回路。這些技術使工藝的準確性和可靠性達到了很高的水平。此外，TOKYO ELECTRON ACT 8還能夠進行脫膠、烘烤及烘烤/冷卻等後處理活動。多用途的自旋塗層和晶片前工作站提供了突出的結果，而不會損壞光刻膠層或器件基板。ACT 8單元高度靈活，用戶友好。它能夠存儲多達1000個用戶配方,使客戶能夠輕松實施各種流程更改。該機器還具有非常直觀的圖形用戶界面（GUI），使用戶能夠輕松瀏覽各種光刻膠處理步驟。此外,其復雜的軟件體系結構降低了調整過程參數的復雜性,並實現了高精度。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光致抗蝕劑加工工具提供高性能、高通量和低工藝成本。它是尋求先進光刻膠加工技術滿足MEMS生產要求的理想解決方案。