二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT #9290877 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT （TEACT）光致抗蝕劑設備是一種前沿技術，設計用於對半導體晶片進行高精度的陣列化。TEACT系統使用專有的深紫外線（DUV）光源來照射光抗蝕劑塗層的晶片，精確控制制圖過程。該單元包括幾個關鍵組件，包括一個自動控制器（ACU）、模式發生器（PG）、輻射能源（RES）和電源（PS）。ACU是TEACT機器的控制中心，允許用戶控制晶圓陣列制作過程的各個方面。ACU與PG接口生成並控制應用於晶圓的模式。PG使用矢量格式進行格式陣列,允許精確應用復雜的陣列。RES是TEACT工具中使用的DUV光源。這種最先進的光源產生短波長輻射，範圍從193nm到248nm，允許極其精確的圖樣。源可以自動化，允許在晶片上大規模生產完美圖案的層。PS向RES供電,控制施加到晶片上光刻膠層上的能量。這有助於確保光致抗蝕劑暴露在均勻和一致的光照下。TEACT資產為用戶提供了最先進的精確陣列功能。它的自動化控制允許在晶片上生產結構完美的層，使其成為半導體晶片陣列的理想解決方案。該型號的下一代DUV RES促進光刻膠層的均勻曝光，而可自訂的ACU-PG介面則讓使用者能夠控制製圖過程的方方面面。使用TEL ACT設備,無論應用程序如何,用戶都能獲得卓越的效果。