二手 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607974 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300是一種用於多種應用的光刻膠設備，包括半導體和薄膜沈積/蝕刻、LED製造、表面安裝技術。該系統配備了高端光學成像級，允許精確聚焦和對準控制。這與6區平臺相結合，提供了先進的溫度均勻性和控制性。TEL CL1300提供卓越的靈敏度和分辨率,使其能夠檢測和處理低至0.1微米的特性。利用機組先進的紫外線曝光頭，用戶可以達到0.5微米或更好的線緣/寬度控制。它還利用各種先進的定向曝光技術，如離軸定向曝光和離軸軸曝光。這臺機器是為高效的生產過程而設計的.它可以從三個不同的來源同時進料光刻膠卷紙，每個來源都可以有自己的曝光設定。此外,一系列警報（如溫度憤怒、化學物質汙染和電源故障）,可以快速、方便地排除故障。TOKYO ELECTRON CL1300也是為化學管理而建造的。它包括精確的劑量功能，以及一個全面的配方管理工具，允許用戶直觀地管理毯子抵抗，暴露抵抗和後發展抵抗。此外，化學儲罐可以通過多種選擇進行監測，例如壓力、化學濃度和溫度。最後,資產提供了廣泛的選項,如集成加載程序、分類器和托盤,以及自動質量檢查工具,如高級光學檢查模型（AOIS）。總之，CL1300是一種功能強大且經濟實惠的光刻設備，為各種應用提供了廣泛的特性和功能。