二手 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607976 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300是為高精度、低過噴霧和最大通量而設計的光阻設備。TEL CL1300包含許多功能,可用於各種半導體、MEMS和混合制造應用。該系統采用大面積處理器,能夠處理直徑不超過400mm的基板,並提供尺寸長度,以容納尺寸不超過4英寸的基板。TOKYO ELECTRON CL1300具有以5種微電子分辨率處理底物的能力，非常適合廣泛的制造和加工技術。此外，這種光致抗蝕劑單元的腔室容積為101升或更大，允許在單個環境中處理大型和復雜的基板。光刻機具有多種安全控制特性，是一種可靠可靠的制造工具。CL1300包括帶有觸摸屏控制面板的PLC控制資產,可提供準確且可重復的過程控制。它還包括一個運動探測器，以確保基板在加工過程中保持原位；防靜電鞋，操作安全；以及防止汙染物進入模型的安全屏障。TEL/TOKYO ELECTRON CL1300具有自旋塗層、氣動噴霧塗層、蒸發和激光輔助光敏塗層等功能。這種光刻膠設備使用專有軟件系統在制造過程中監控和調整參數，從而實現更高效和可預測的光刻膠圖案。此外，TEL CL1300還提供多區域供暖和制冷系統，以實現一系列的光阻模式。在維護方面，TOKYO ELECTRON CL1300需要最低限度的維護，因為它設計了許多功能，以幫助防止光刻膠降解。這包括一個先進的過濾裝置，以減少外來顆粒和汙染物的存在；化學活性掃描儀，以確保光掩模不被取消資格和汙染；和溫度控制機器，以盡量減少熱循環和最小化光敏降解。總之,CL1300光刻工具是滿足各種制造和加工需求的理想解決方案,提供高精度、低過噴霧、最大吞吐量以及一系列安全和控制功能。它是任何實驗室或工業應用的理想解決方案，因為它能夠處理分辨率高達5微米的大型基板，並提供成功所需的準確性和可靠性。