二手 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #9378266 待售

ID: 9378266
Coater Excimer UV-laser.
TEL/TOKYO ELECTRON CL1300是一種廣泛應用於微加工和納米加工應用的光刻膠設備。該系統采用先進的環境成像曝光工具,以比同類系統更高的精度,更快、更高效、更高精度的直接模式傳輸,從而顛覆了傳統的光刻工藝。TEL CL1300光敏裝置的特點使其成為快速成型的理想選擇,從原型到小系列生產。它配備了高分辨率的Poliscan掃描儀,能夠以高精度再現小至1 μ m的復雜模式。其最先進的光束圖像控制算法提供了均勻的曝光場和高度精確的圖像,沒有任何信號失真。該機器還為用戶提供了對NKS(中子光譜加權)和DWS(劑量加權光譜)功能的訪問,以便用戶能夠訪問其特定需求所需的產品文件。TOKYO ELECTRON CL1300光致抗蝕劑工具還在半導體潔凈室環境中提供快速可靠的軌道處理。資產的動態跟蹤技術提高了生產效率,而其快速準確的曝光時間確保了在生產緊密公差產品時的高可重復性。此外,它還與大多數光敏材料兼容,消除了過程中的復雜性。集成的高級專有軟件TEL ComponentsTM 「Litho Assistan」也使CL1300成為納米和微型制造應用的傑出選擇。這一功能強大的面向光刻的軟件不僅為用戶提供了精確設計圖案、弧線和曲線的能力,而且還使他們能夠控制和調節光刻過程的所有參數。此外,該軟件還允許用戶保存、管理和編目其數據,從而使流程更快、更高效。最後,TEL/TOKYO ELECTRON CL1300光刻膠模型設計為用戶提供人體工程學體驗,得益於其觸摸屏控制臺、直觀的菜單驅動導航以及全面的診斷功能。操作員還可以訪問可重復使用的配方庫,幫助減少設置時間並簡化生產過程。總體而言,TEL CL1300是一種革命性的光刻設備,可為用戶提供更高的效率、更高的精度和快速的原型設計功能,使其成為納米和微型制造應用的理想選擇。
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