二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293616493 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款高精度的多過程光刻設備。該系統具有先進的軟件控制環境，能夠高精度地應用先進的光刻膠工藝。這是通過利用獨特的光學控制體系結構來實現的,該體系結構可確保非常精確的曝光、對準、標註尺寸和掩碼測量過程。該單元先進的光學控制系統允許以非常高的精度完成應用過程。利用這一特性，可以在不同厚度的柔性基板上以高精度完成光刻工藝。這樣可以創建更復雜、更精細的結構。此外，機器還配備了靜態開關工具，允許在一臺機器中處理不同的基板類型。TEL Clean Track ACT 12旨在通過其腔室控制功能極其可靠和可重現。資產擁有快速的回收率和閉環控制，確保了一致的結果。此外,該型號的維護要求較低,因為它是自動清潔的,以最大程度地減少停機時間。該設備還允許執行各種光阻過程，如旋轉塗層、熱板曝光和激光曝光。它還具有高度靈敏的超聲耦合系統，能夠檢測和精確測量很小的尺寸變化，提高精度和準確率。此外,唯一的2軸圖像對齊單元允許精確對齊圖像。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12適合於各種製造應用和行業，例如精密電子和半導體工業。它提供了在各種基板和表面類型中執行高精度過程的能力，這使得它成為許多光敏應用的重要工具。此外，通過保護外殼提高了工藝效率，保留了工藝中使用的能量和化學品。這可以節省能源和材料的成本，提高交付效率。