二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293823519 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一款支持光刻過程的集成設備。該系統由四個主要組成部分組成：一個自動清潔單元、一個自動定位單元、一個監控單元和一個帶有晶圓映射的檢測單元。自動清洗裝置的設計使裝有光刻膠材料的腔室保持清潔和無汙染物。它由一個清潔室、一個雙室除塵器和一個水力循環除塵器組成。雙室除塵器將塵埃顆粒與通過腔室的空氣分離出來，然後將其困在水力旋風除塵器中。潔凈室是光刻膠材料加工的地方，不斷監控，確保光刻膠的質量和性能最佳。自動定位裝置使光刻材料的應用變得簡單高效。它由兩個光學尺度和兩個線性尺度組成，有助於精確設置所需的曝光點。這允許用戶在給定的應用程序中精確調整光刻膠材料上所需的曝光。監視器作為工具的大腦.它由一個觸摸屏顯示器和一臺綜合計算機組成，記錄來自自動清洗單元、自動定位單元和檢查單元的數據。然後可以分析這些數據，以確定光刻材料的最佳曝光時間、水平和位置。帶有晶片映射的檢測單元允許對光刻膠材料進行詳細的目視檢測。它由高分辨率成像相機和強大的照明資產組成。這允許對光刻膠材料的表面特性，如缺陷、粒徑和結構均勻性進行清晰詳細的檢查。晶圓映射還有助於定位應力或變形的任何區域，然後可以用來糾正光敏材料中的任何缺陷。TEL Clean Track是一個高效可靠的模型，使光刻膠工藝更加容易和高效。其自動清洗單元和自動定位單元有助於精確準確地應用光刻膠材料，而其監控設備和檢查單元則允許進行詳細分析和目視檢查，以確保光刻膠材料質量最高。