二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9037669 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
ID: 9037669
晶圓大小: 12"
Coater / Developer system, 12" Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一種先進的光致抗蝕劑設備,用於包括半導體器件和電子元件的制造等多個領域。它旨在最大限度地減少顆粒和化學汙染,同時提供高性能。TEL Clean Track ACT 12的核心是其先進的光學系統,它使用先進的光源產生長波或短波能量脈沖。然後,這種光被引導到一系列反射鏡上,以精確地將其定向到指定的光敏目標。對光源進行了優化,以滿足光刻膠的加工要求。為了確保整個目標表面上的能量分布均勻,使用激光光纖束將能量聚焦並傳輸到目標。然後將激光能量調整到所使用的特定光致抗蝕劑的適當水平。除了光光源外,TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12還設有高速執行器單元,用於精確控制光束方向。這種執行器機能夠精確調整光束的角度,並確保光刻膠在加工過程中正確曝光。ACT 12還具有創新的光學技術,包括高分辨率圖像增強和高對比度成像。該工具經過優化,可提供最大對比度和圖像保真度,並具有最小背景噪聲。Clean Track ACT 12除了改進光致抗蝕劑加工外,還有助於降低粒子和化學汙染的風險。為此,資產配備了增強凈化模型,以減少潛在汙染物並防止其造成損害。完整的TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12與先進的工藝控制技術完全集成。這一技術有助於確保光刻膠正確地暴露在光束中,並且在規定的時間內完成這一過程。TEL Clean Track ACT 12設備是一種強大的光阻處理系統,可用於創建高質量的半導體器件和電子元件。它在制造過程中使用時提供精確度和準確性,有助於降低生產過程中可能引起問題的化學品和顆粒的風險。
還沒有評論