二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9087044 待售
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已售出
ID: 9087044
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Dual block coater / developer system, 12"
Track configuration 1:
Coat cup: 1
BARC cup: 1
Top Coat cup: 1
Developer cup: 2
ADH: 1
Track configuration 2:
Resist Reduction: RRC
Dev Nozzle: LD
Resist pump: RDS 4ml
Oven Configuration:
PEB: PHP x3
BCT: PHP x2
COT: PHP x2
Post bake: CHP x3
Track chemicals:
Resist supply: Gallon bottle
Thinner: OK73
Currently installed
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是TEL Limited在處理半導體器件時所使用的光刻式清潔設備。光致抗蝕劑清洗系統是為有效去除光致抗蝕劑殘留物和IC芯片表面的矽酮汙染而設計的。該單元由連接到超音速單元的電阻軌道、電阻電鍍罐、電子束輻照室和紅外CCD攝像機組成,均由控制面板操作。具有超聲波單元的電阻軌跡用於利用高頻聲波從IC芯片表面去除光阻殘留物。電阻電鍍罐用於將導電層沈積在芯片上,允許電子束輻照室用來用電子束照射芯片,從而確保光致抗蝕劑殘留物的完全去除。紅外CCD照相機用於檢測任何殘留的光致抗蝕劑殘留物,以確保清潔過程成功。使用TEL Clean Track ACT 12可確保對電子設備中使用的IC芯片進行高效、經濟高效的清洗。機器的使用也減輕了任何因光刻膠殘留物未被完全清除而引起的問題,從而導致設備故障。此外,該工具的高質量電子束輻照室確保了IC芯片的質量不受影響。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一種可靠且具成本效益的光刻膠殘渣清除和矽膠汙染清洗方法,確保電子裝置的可靠操作。它易於使用和高效,確保IC芯片以最高質量的清洗出來。它是一種可靠的資產,有助於確保IC芯片正常運行,減少產品故障並保護客戶和制造商。
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