二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9096485 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一種光刻設備，設計用於有效去除光刻工藝中使用的光刻膠。該系統結合了多種技術和工程解決方案,為清除用於在集成電路芯片中創建復雜特征的光刻材料提供了可靠高效的工藝。ACT 12配備了強大的基於MEMS的清潔過程，采用了雙相清潔機制，以確保清潔過程完整和高效。這一過程需要在光致抗蝕劑表面引入一種化學溶液，以分解表面形成的任何有機分子。這有助於有效去除可能影響光刻膠圖案的任何汙染物或雜質。一旦有機分子分解，就會利用一系列低速刷洗、沖洗和自旋幹燥過程來完成清洗過程。ACT 12的一個主要特點是它能夠準確和精確地控制每個清潔步驟的強度和速度。這樣可以確保在清潔過程中對光刻膠材料造成的損害最小。此外，該裝置還具有清潔軌道控制器，確保清潔過程的物理參數精確。該控制器監控清潔過程的壓力、流量和溫度，有助於確保清潔過程的均勻性、可靠性和速度。ACT 12利用低溫臭氧和氧等離子體技術，以進一步增強光敏電路的清潔度。這個過程有助於去除任何殘留的光刻粒子，這會影響光刻過程的精度。此外，該機還具有一個反饋工具，可確保快速調整參數，從而為任何給定的光掩模獲得最佳結果。為確保資產使用壽命和安全運行，ACT 12設計了一系列安全功能，以確保模型在預期參數範圍內運行。這包括計算機監控的聯鎖、緊急關閉和保護功能以及各種感官設備。此外,設備還提供自我診斷功能,可幫助排除可能出現的任何操作問題。總體而言,TEL Clean Track ACT 12是一種先進、高效的光敏清洗系統.它的各種特點和功能使其成為用於集成電路制造的光掩模堅固、均勻和精確清潔的絕佳選擇。