二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106025 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，用於蝕刻DUV半導體基板表面的圖樣。光致抗蝕劑是光刻中使用的光敏化學物質，用於將圖樣從遮罩或標線轉移到基板上。該系統有助於精確定義將被蝕刻到基板上的圖案。TEL Clean Track ACT 12由三個模塊組成：電暈點火器、分辨率增強技術（RET）和步驟和重復單元（SRU）。電暈點火器是過程中的第一步。Igniter將一種稱為引發劑的特殊化學物質引入基材表面，激活基材上的光致抗蝕劑，以形成保護層。這種保護性塗層能夠在紫外線照射後對光刻膠進行精確的圖案。然後,RET模塊將激活的光刻膠基板提升到下一級。這個模塊使用極其先進的成像技術，以極高的分辨率在光刻膠層中創建詳細而精確的圖案。它結合了接觸級成像、收縮和減少點等多項技術來實現這一目標。SRU是TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12的第三個也是最後一個模組。此模塊采用RET模塊定義的光刻膠圖樣,並將其傳輸到掩碼或標線。然後對步進器進行多次曝光，以便將圖樣轉移到基板上。步進器是一種以精確的間隔以精確的模式移動標線以使每個位置正確暴露的設備。CleanTrackACT 12是一種非常可靠和精確的光敏裝置.它結合了電暈點火器、RET模塊和SRU，可以精確、精細地定義要蝕刻到基板上的圖案，分辨率和精度都很高。這臺機器被用於許多行業，被認為是最先進的光刻膠系統之一。