二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106026 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款光抗蝕劑設備，設計用於產生最高水平的設備清潔度和烘焙產品圖像。該系統允許用戶處理多種基材，包括半導體晶圓、柔性印刷電路、膠帶載流子和光學薄膜，以及各種蝕刻回等級，如照片、聚酰亞胺和電子束。該單位的ACT 12頭是一步預處理頭，表現為自動除粒機。它配備了多種技術，包括超聲波振動、熱爆裂和噴射清洗，可用於處理直基板和角度基板。該工具還可以通過其集成的冷卻和加熱技術來跟蹤和控制工藝溫度。除了自動去除顆粒外，資產還提供多向噴霧，均勻地覆蓋整個基板表面，均勻地應用光致抗蝕劑。這樣可以確保基板上均勻的厚度和可重復的圖樣。該型號配備了一個紡絲-不銹鋼卡帶，確保長期使用和加快高端面罩模式。TEL Clean Track ACT 12旨在提供高生產率和低擁有成本。使用24行配置可實現高達每小時150個晶圓的高吞吐量。該設備還采用高精度的傳感和控制系統進行設計，確保結構的精確放置和統一。它還配備了數碼相機系統，可以在處理開始前檢查每個基板。而且，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12單元擁有一個整合式的軌距/卸載機與一個自動條碼分配工具。它還有一個緊湊的設計，適合潔凈室環境。該資產帶有一個集中控制機構,可通過易於使用的圖形用戶界面來監督和調整流程條件。它還配備了遠程控制和分析的自我診斷和分析模型。