二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106048 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，能夠對基板進行精確的陣列。系統緊湊，操作簡單簡便。它包括一個改進的過濾單元，配備了能保持室內清潔環境的防粒機。基板支架可以自動調整，工具也允許更多的操作靈活性。資產有一個多區域非接觸式測量模型，可以精確測量基板，以確保與掩模正確對齊。它還配備了高精度的劑量控制設備，具有廣泛的劑量和能量水平，以達到最佳效果。該系統能夠為各種應用設計各種尺寸的基板。曝光裝置包括一個870nm ArF激光照明器，具有專有的掃描技術，以確保穩定、均勻的光束適合所需的圖樣。該機具有高分辨率成像工具，最大分辨率為512x512 dpi。此圖像資產是A 10位維護良好的,所有圖像均以極高的精確度和清晰度進行捕獲。TEL Clean Track ACT 12還包括多項清潔功能，如離子淋浴清潔和索引清潔。離子淋浴清洗用離子轟擊基板，而Indexing清潔是一種非接觸式的方法，使用磁性的刷子來清潔區域。該型號還有一個備用泵設備，這是一個二次泵系統，以確保單元維持所需的環境條件。該機配備了一系列安全功能，如內置聯鎖工具和防靜電資產。最後,該模型還允許通過可通過用戶界面訪問的以太網或RS 232端口進行遠程監視和控制。這使用戶能夠快速輕松地調整參數並快速排除任何問題。