二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9138480 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一款先進的光致抗蝕劑設備，設計用於半導體工業中非常高的清潔和蝕刻應用。該系統旨在提供對光刻蝕刻工藝的精確控制，使其能夠在盡量減少浪費的同時達到預期的效果。TEL Clean Track ACT 12采用了光刻膠噴塗、蝕刻和烘烤特性的組合，在尺寸和厚度各異的材料上產生超細、高精度的蝕刻圖案。光致抗蝕劑是一種光敏聚合物，用於光刻工藝，在矽片上產生微小的特征。TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12利用先進的超快UHF固態激光器在晶圓上噴灑光抗蝕劑。此功能可確保陣列不會因其他系統中常見的過熱條件而變形。Clean Track ACT 12還包括一個由精確激光和電控制管理的高速蝕刻單元。這臺機器能夠精確蝕刻復雜的圖樣，重復精度高達0.5 μ m。蝕刻用於在晶片表面上創建所需的圖案，然後用對紫外線敏感的光刻膠塗覆。紫外線用於選擇性蝕刻光刻劑上所需的圖案。最後，經過蝕刻後，晶片進行烘烤循環。這樣做是為了進一步加強圖樣的準確性，並去除基板表面上任何殘留的光刻膠。TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12旨在監測烘烤過程的熱特性，使結果準確且可重復。總之，TEL Clean Track ACT 12是一種先進的光致抗蝕劑工具，專門為半導體行業內的高性能、非常高精度的蝕刻和清潔應用而設計。它結合了光阻噴塗、蝕刻和烘烤特性，在不同尺寸和厚度的基板上產生超細特征。TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12的重復精度高達0.5 μ m,能夠產生極高質量的結果,且浪費極少。