二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9138481 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 12是一種革命性的光阻設備，設計用於處理需要高精度的集成電路和應用。TEL Clean Track ACT 12系統由一個化學預處理模塊、一個去除固體顆粒的大功率清洗單元和一個為最大限度提高圖像清晰度而開發的專利感光膜組成。化學預處理模塊旨在中和底物上可能存在的任何汙染殘留物，並為光致抗蝕劑的沈積創造均勻的基礎。高功率洗衣機的設計是為了從基板表面精確去除任何固體顆粒，以及任何可能被薄膜無意中吸收的顆粒。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12所使用的專利感光膜是與日本研究所RIKEN共同開發的獨特沈積。薄膜最大限度地提高了圖像的分辨率，並允許在蝕刻和光刻過程中更高的精度。Clean Track ACT 12具有多項功能,使其能夠以最高精度執行。工具中使用的清潔技術消除了可能導致圖像清晰度下降的顆粒和顆粒。先進的光致抗蝕劑資產的設計使電路設計者能夠快速地從概念轉變為實現，對原始設計進行最小的改動。該模型利用高功率加熱元件快速、均勻地固化光刻膠，允許更快、更精確的應用。連續蝕刻0.18微米及以下特征尺寸的能力是TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12提供的關鍵優勢。這種高保真設備為提高電路密度提供了改進的晶體管和電阻密度。該系統產生的小型但高度精確的特性特別適合需要接近原子級精度的應用。此外，TEL Clean Track ACT 12兼容了大量的蝕刻和光刻技術。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一種特殊的光阻裝置，能夠以最高精度制造復雜電路。先進的清潔技術、高精度的光刻膠薄膜和強大的加熱器的獨特結合，使原型制作迅速，上市時間更快。CleanTrackACT 12是一種非常先進的光電抗蝕器,旨在滿足制造先進集成電路對質量和精度的不斷增長的需求。