二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9154831 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，為用戶提供在基板上開發光致抗蝕劑的高效快速工藝。該系統允許用戶在晶圓表面上創建高分辨率圖像，從而減少所需時間，提高產品質量。該裝置的工作原理是通過遮罩將光暴露在基板上，然後用真空將其穩定。這使得基板能夠開發出可用於制造的負片或正片圖像。光致抗蝕劑保持在表面，真空使層穩定。本機最重要的特點是層和基板之間不需要人工接觸，因為真空做穩定光刻膠幾何形狀和壓力的工作。光致抗蝕劑在光照完成後從表面除去。然後通過在裝有液體光刻膠的腔室內旋轉底物來重新開發。表面的光致抗蝕劑被基板的自旋進一步硬化，液體再從表面排出。這一過程提高了光刻膠的性能，因為它形成了一個薄而均勻的層。TEL Clean Track ACT 12為用戶提供了生產高分辨率、高精度感光元件的準確性和精確度。該工具還提供了優於基板清潔，這要歸功於它的高真空水平。當在掩模和基板之間移動基板時，該資產還提供了卓越的跟蹤精度，從而允許精確和精確的曝光。總體而言，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12為用戶提供了一種生產感光元件的可靠和高效的方法。該模型的工作原理是將光暴露在基板上，用真空穩定層，除去光致抗蝕劑，然後在裝有液體光致抗蝕劑的腔室內使用自旋將其重新顯影。該設備提供卓越的清潔度、準確性和精確度，為用戶提供感光元件的最高品質。