二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9190227 待售
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ID: 9190227
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
(2) Coaters / (4) Developers system, 8"
In-line
Right to left
Loading configuration: 3 Foup type
Main controller: 2nd Controller
Main frame with system controller
CSB
PRB1
PRB2
IFB
Power box
T&H Controller
Chemical box
Thermo controller
(2) Mass flow controllers
Carrier station: 8" Foup type
(3) Cassettes / (25) Slots
Coater unit (2-1, 2-2 Module):
(4) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RRC Pump
PR Suck-back valve: (8) Air operation suck-back valves
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Programmable side rinse
(4) PR Nozzles
(8) Bottles
Thinner supply:
CCSS Supply
Local canister tank function
Photo resist temperature control system
Drain: Direct drain
Developer unit (3-1, 3-2, 3-3, 3-4):
(2) H Nozzles for each unit
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse on each unit
Developer temperature control system
I/F Wafer stage type: NIKON (S204)
Adhesion unit:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor in system
HMDS Supply: Local bottle
(8) Low temperature hot plates (LHP)
WEE Unit (Wafer edge exposure)
Type: DUV (UV254)
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling hot plates (CHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
SHU: (2) Shuttles
Chemical cabinet 1:
Solvent
Developer
HMDS Chemical cabinet
Temperature & humidity controller: Shinwa series (ESA-8)
Temperature control unit(TCU): TEL
AC Power box:
AC200 / 220V
Full-load current: 300A
Power: AC 208V, 3 Phase, 300A (Maximum)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是市面上最新、最先進的光刻膠設備。它是為在潔凈室環境中超低顆粒性能而設計的。該系統采用獨特的技術組合,包括確保顆粒清潔的專有清潔軌道自動清潔（CTAC）工藝和先進的自上而下掃描工具,以便於維護。清潔軌道自動清潔（CTAC）過程利用兩個順序階段來確保最高的無粒子環境。首先，使用兩個獨立的活化刷子模塊將粒子從任何表面輪廓中移出。這些刷毛精確地根據零件或設備的形狀和尺寸量身定制，確保有效清除所有汙染物。其次，用高氣流單元從表面提取脫落的顆粒。高氣流還對表面施加防靜電，進一步改善無顆粒環境。機器還利用專有的掃描技術來檢測任何剩余的粒子。掃描工具利用16通道傳感器陣列檢測小到1微米的顆粒。傳感器測量和比較包括大小、形狀和密度在內的粒子特性，從而能夠準確識別粒子計數。通過這一掃描過程，該工具能夠檢測和去除低於行業標準的顆粒水平。TEL Clean Track ACT 12資產還利用先進的溫度、濕度和臭氧監測技術，以確保清潔室環境得到持續維護。溫度和濕度傳感器監視環境,以便根據需要調整模型。此外，臭氧傳感器用於檢測任何產生臭氧的粒子的存在，並相應調整設備的臭氧產量。該系統為用戶提供了完整的控制,允許對清潔過程進行精確監控。此外，灰塵和防靜電系統都提供先進的統計分析工具，使用戶能夠監測清潔閾值並確保最佳無顆粒性能。總體而言，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款高度先進的光致抗蝕劑裝置，使用戶能夠在潔凈室環境中達到最高水平的潔凈度。機器利用先進技術的組合，以允許恒定的無粒子性能，同時提供對清潔過程的完全控制。
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