二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9197300 待售
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單擊可縮放
ID: 9197300
優質的: 2006
Single block system, 12"
P/N: Cassette block(CSB)
Model no: ACT12-300
TTC Series
Front opening unified pod
Non copper
Installed components:
(2) YASKAWA Servopack P/N: CACR-02-TE2K
(2) YASKAWA Servopack P/N: SGDA-01AP
(2) PANASONIC Servo P/N: DV83050HA503
PANASONIC PLC P/N: MSD261Y22
NSK Servo driver P/N: ESA-J1003AF9-20
ASYST P/N: Advantag gateway
TEL P/N: TIF-40S1, Model 877
CE Marked
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12設備是為前緣光刻工藝設計的開創性光刻系統。Clean Track ACT是一個綜合性的集成單元,為最極端的平版印刷要求提供關鍵的清潔過程和解決方案。TEL Clean Track ACT 12機器利用確定性傳輸,為光致抗蝕劑的活動層創造清潔環境。這保證了光刻膠均勻地沈積在晶片上，這對於光刻工藝至關重要。其先進的氣閘技術為防止汙染和後處理效果提供了至關重要的保護。該工具由多種清潔和軟烘烤工藝組成的集成序列確保了光刻的最佳條件。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12還有一個瓶蓋晶圓轉移資產，可以最大限度地減少顆粒，減少接觸汙染，並消除晶圓清洗。此模型的高端自動化旨在實現高效可靠的性能,確保過程解決方案的不間斷流動,從而提高吞吐量。Clean Track ACT 12提供了一個用於高級預處理的多功能平臺。它旨在支持多重光刻工藝，如EUV和ArF光刻。集成平臺既提供預烤功能,又提供一系列晶圓尺寸和配置的清潔功能。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一個通用的光刻平臺。它在基板上提供出色的均勻性,以確保精確
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