二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259909 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，設計用於需要精確抗蝕劑塗層、曝光和在半導體晶片等基板上顯影的應用。該系統通過內置定時控制器和嚴密的溫度控制，有效地控制塗層、曝光和開發操作。該裝置有兩個機器人手臂，能夠在短時間內進行精確的抗塗層、顯影和清潔。這臺機器還減少了底物的化學氧化，從而提高了薄膜的性能。光致抗蝕劑工具由一個裝有噴霧噴嘴的抗蝕室組成，可在晶片上精確施加光致抗蝕劑。噴嘴每秒可在晶片上施加多達7滴液滴。該資產還帶有晶圓傳輸單元，能夠安全、準確地處理晶圓。該模型還具有一個曝光室。這個腔室使用一個UV短波長的AMLS（調幅UV激光設備）來曝光光刻膠。激光束用於將圖樣直接寫入晶片表面。一旦曝光完成，光致抗蝕劑就會按照圖樣永久改變。該系統還設有自動化化學處理裝置。這臺機器包括一個自動刷子工具，在加工過程中對晶片進行化學清洗。資產中還配備了可用於進行浸入式濕蝕刻、酸性蝕刻、光化學蝕刻等的化學加工室。這樣可以精確控制用於加工晶片的化學劑。該模型還配備了監控設備，使操作員能夠實時監控腔室溫度和操作條件，同時控制暴露、清潔和化學處理等過程。系統還提供了用戶友好的圖形用戶界面（GUI）以方便操作。該裝置具有極好的可靠性，能夠在廣泛的基板上實現精確的塗層和圖案。該機在消費電子、醫療技術、汽車半導體制造等行業應用廣泛。