二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265669 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一種全自動的光致抗蝕劑設備，旨在提高大型電子裝配中使用的掩模制作工藝的效率。它的高級設計采用了一系列有圖案的清潔技術，包括噴霧、開發和沖洗系統，以確保最高質量的清潔結果。該系統具有無與倫比的清潔性能,每小時可處理多達1,000個晶圓。TEL Clean Track ACT 12采用雙臂設計，由活動清潔臂和固定臂組成，以優化清潔過程。這樣可以確保將溶液均勻地分配到晶片的整個表面上,以獲得均勻的結果。該裝置配備了一個六噴嘴噴霧器，該噴霧器優化了圖案精度，覆蓋了傳統噴霧器面積的三倍。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12還設有一個包括增壓室的綜合開發模塊，以確保一致和可重現的結果。該模塊減少了溶液的蒸發和驅散，從而實現了精確可靠的開發和蝕刻過程。該機還利用沖洗技術，最大限度地減少交叉汙染，提高性能。Clean Track ACT 12還提供了多種方便用戶的選項，例如能夠監控和調整清潔臂與晶圓之間的距離，以及能夠控制清潔溶液的成分。該工具專為易於使用而設計,操作人員只需進行最少的培訓,即可快速進行設置和配置。此外，該資產的設計目的是盡量減少維護需要，采用全尺寸風扇過濾器模型，確保清潔空氣在整個腔室內流通，而無需經常清洗或更換。最後，TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12提供了一種可靠、自動化的光致抗蝕劑設備，設計用於高效的掩模制作工藝。它的高級設計結合了一系列全面的圖樣清潔技術和用戶友好的選項,使操作員能夠快速、準確地控制清潔過程。這樣可以確保最高級別的性能,而最低的維護需求。