二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265670 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一款為半導體工業而建造的光刻膠設備。它旨在為光刻應用提供更清潔的環境。該系統采用獨特的多級清洗設計，提供最大的清潔度。該裝置使用一系列噴嘴和泵來清潔基板表面的光致抗蝕劑。為進行清潔，噴嘴采用精密的狹縫噴嘴設計，能夠產生最佳的清潔流量。狹縫噴嘴產生湍流氣流，將大顆粒分解成小塊，便於清除。此外，噴嘴還可以創建一個抽吸通道陣列，以便從表面高效提取顆粒。通過增加註入高壓氣體的額外噴嘴，進一步加強了清潔操作，這些噴嘴用於分解粘附的顆粒和封裝的氣泡。該裝置使用的泵是隔膜設計的，在水箱內部產生真空。這種真空允許用戶為不同的應用自定義清洗過程。泵有三種尺寸，從小到大不等，可容納壓力和體積的不同組合。每臺泵還包括一臺高效的壓力控制機，可確保壓力始終在最佳範圍內。此外，TEL Clean Track ACT 12配備了凈水工具，通過清除自來水中的化學物質、汙垢和其他雜質確保水箱清潔。這不僅減少了光刻膠的汙染，而且提高了清潔操作的性能。TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12還利用目視檢查資產監控基板表面的質量。該型號由放置在設備內部的三個攝像頭組成,這些攝像頭在清洗過程之前、期間和之後捕捉基板的圖像。這有助於用戶確保光刻膠已被有效去除，表面仍然光滑且無缺陷。總體而言，Clean Track ACT 12是一種高度先進的光刻設備，可提供更好的清潔性能和對光刻工藝的更大控制。該系統高效的清潔設計，加上強大的凈水和目視檢查系統，有助於確保清潔室的成功運行。