二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266471 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是為優越的半導體器件加工制造而設計的光刻設備。它是一種高端設備,以完全自動化、經濟高效和可靠的封裝提供先進的光阻技術和工藝。該系統由主要組件組成，包括激光掃描儀單元和集成激光光學器件以及可回收真空卡盤表。激光掃描儀允許精確的光束對準和可重復性，以掩蔽視場內的數據，而真空卡盤則允許可靠的基板塗層，輻射膨脹控制，並消除粒子色散等潛在缺陷。TEL Clean Track ACT 12配備了多項高級功能,可提高性能、降低成本和簡化維護,包括快速熱暴露和快速熱開發（RTED）單元。這臺機器通過消除非必要的接觸元件，使基板接觸與材料接觸相協調，大大減少了材料消耗和加工時間。該工具還配備了一種高功率的紫外線激光器，能夠快速曝光更大尺寸和更高密度的圖案。此外,它還支持用於精確定位的高精度基板對準資產、用於改進圖樣均勻性的邊緣曝光多反射模型,以及用於防止工藝變化的沖洗和噴霧盒式清潔器。此外，TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12配備了全自動化設備，能夠處理多種晶圓尺寸，以及腳跟效應系統的減徑基板場。利用其配方，該單元通過補償粒子色散和激光搖擺提供了高水平的過程均勻性。總體而言，Clean Track ACT 12是一款先進的光刻機，旨在滿足最苛刻的半導體器件應用的需求。其特點和可靠性使其適合以經濟高效可靠的方式最大化生產吞吐量。此外，該工具提供了高度的流程統一性和性能，其完全自動化的資產提供了一個簡化和高效的工作軟件。