二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266472 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款最先進的光敏設備。該系統用於將感光膜沈積到半導體表面上。這樣可以精確地控制和操縱薄膜的厚度和表面特性。TEL Clean Track ACT 12單元利用精確的線性級以及完全集成的視覺/對齊機器。這使得薄膜的精確運動和精確的位置得以沈積。視覺/對齊工具還提供反饋，以保持沈積過程的精確度。膜通過一系列的旋轉和噴頭沈積。當噴嘴將光致抗蝕劑液體施加到基板表面時，旋轉頭會高速旋轉基板。液體施用後，使用真空卡盤固定基板，使圖像對準過程開始。舞臺可以在X軸或Y軸中精確移動基板。此時，感光膜與底物對齊，圖像可以精確地再現到膠片上。在基板上創建的圖像隨後被閃光燈幹燥，然後暴露在紫外線下發展。這種光刻工藝允許將圖案設計精確轉移到基板上。該資產還允許光刻膠層的厚度變化，從而允許精確和精確的電路設計。一旦光致抗蝕劑被開發和圖案化，基板就被置於蝕刻過程中，利用各種化學物質和酸去除了光致抗蝕劑，在基板表面形成所需的電路。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12模型提供可靠精確的光刻和蝕刻工藝，非常適合大體積的應用工藝。設備使用方便，維護簡單。此外,該系統還具有FOUP和吊艙跟蹤功能,非常適合當前晶圓制造行業.