二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9269256 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是設計用於半導體製造的光刻膠系統。它提供了一致的，高質量的結果，具有卓越的清潔和出色的處理基材。該系統是一個高度通用的平臺，可用於各種沈積應用，包括靜電沈積、化學機械平面化（CMP）和其他專業應用。TEL Clean Track ACT 12由三個主要組件組成：大型機、主處理器和相關軟件包。大型機裝有兩軸轉動臺,在處理過程中需要該轉動臺來固定目標基板。主處理器包含運行光刻過程中所需軟件所需的所有組件。這包括控制應用程序速度和準確性的計算，以及創建所需模式所需的實際軟件。此外，處理器還包含操作基於微處理器的觸摸屏所需的所有組件，允許操作員精確控制過程參數。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12包含各種工具來最佳地沈積在基質上的光刻膠。其中包括用於應用光刻膠的遮罩板，以及用於將光敏材料從遮罩板轉移到基板的輔助工具。該系統還包括一個基於激光的加熱工具，用於在基板上制造均勻的塗層，以及一個真空附件，用於在工藝完成後進行清理。底物的清洗和加工是通過一臺專門的機器完成的，該機器采用化學清潔劑、磨料清潔劑和蝕刻溶液的組合來去除底物中的汙染物。汙染消除後，施用化學底漆，然後在施用光致抗蝕劑前讓其幹燥。然後利用一系列指定寬度和頻率的矩形脈沖來完成光刻膠的沈積。如有必要，可采用額外的處理方法來增強光致抗蝕劑對基材的附著力。CleanTrackACT 12提供一致、高質量的結果,具有卓越的清潔度和出色的基板處理能力。是開發各種沈積應用光刻膠的理想平臺，專門從事靜電沈積、化學機械平面化等專業應用。