二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9272286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款光刻設備，設計為允許高精度高品質印刷精密電路。這種健壯的系統能夠以最小的失真和高精度打印極其復雜的線條結構。它的軌道寬度分辨率為350納米，層對層可重復性公差小於3納米。光致抗蝕劑單元由具有自旋抗蝕劑和光刻成像的兩步工藝組成。首先，將自旋抗蝕劑應用於基材或晶片。這種液體抗蝕劑被分配到晶片上，然後高速旋轉，以便在整個基板上鋪展均勻的一層。抗蝕劑必須以極高的精確度和均勻度進行塗抹，才能達到高品質的印刷品。一旦應用了自旋抗蝕劑，晶片就會暴露在高功率的紫外線光源下。這是光刻成像的地方。該裝置能夠精確控制光能和曝光量，以便從抗蝕層產生「負」圖像。然後使用光刻圖像打印所需的電路設計。在成像過程之後，使用一系列顯影劑、沖洗和烤箱步驟將設計「烘烤」到抗蝕層中。機器可以加工直徑達8英寸的晶片，可以設置為手動或自動操作。清潔軌道工具的速度和精度使其非常適合復雜電路的高精度打印。該資產還允許進行後處理以提高成像分辨率。這包括多重抗蝕層、選擇性摻雜、激光切割等先進技術。TEL Clean Track ACT 12是一種易於使用但功能強大的光電抗蝕劑模型,能夠以最小的偏差產生復雜的電路設計。