二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9284887 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一種光刻設備，用於生產集成電路的蝕刻和光刻工藝。該系統使用內置的溫度控制烤箱和始終保持在低壓狀態的腔室。該設計有一個自動晶圓傳輸單元，用於在工廠環境中在工藝之間傳輸晶圓。機器還包含一個集成的高精度激光對準工具，用於確定晶圓的確切位置。TEL Clean Track ACT 12具有一整套功能和功能,可用於使用光刻膠對晶片進行高級預處理。它配備了先進的用於光刻膠應用的自旋淋浴液體，可以設定為以變速自旋。資產還有一個綜合曝光模型，利用無汞準分子激光器將紫外線能量精確應用於晶圓的定義區域。如果需要，金屬鹵化物燈也可用於曝光光刻膠。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12中的精密控制幹式和濕式蝕刻功能具有用於幹式和濕式蝕刻工藝的等離子體灰化/剝離組合站。軟件控制設備具有調節蝕刻速率的能力，可以更好地控制微電子生產中的蝕刻特性。應用後的化學材料和蝕刻後處理通過嵌入式計算機控制系統進行監測和管理。Clean Track ACT 12單元具有全面的顆粒物和化學廢物處理能力。該機設計用於將粒子排放控制在0.1微米以下，並通過了無危險物質的使用認證。這意味著該工具配備了先進的過濾系統來控制顆粒的發射，允許用戶在清潔的環境中運行。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12光致抗蝕劑資產是一種緊湊、高性能的生產模式，提供精確的預處理和蝕刻能力、先進的顆粒和化學廢棄物管理、安全運行的集成監控設備等創新功能。