二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9378136 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一種光刻加工設備，滿足了半導體行業對先進光刻工藝的需求。光敏膠片是一種光敏膠片,用於在集成電路（ICs）晶片上創建復雜的圖樣和特征。該系統包括精確定位晶片的高精度基板級和高效的力位移傳感單元，以確保在暴露過程中精確抵抗厚度。該機器設計為在晶片上提供深、高對比度、低反射、大面積和高縱橫比的特性，可用於各種應用。為實現其高性能,該工具利用了多種高級工具和功能。首先，它采用了高功率、基於激光的光學曝光資產，實現了亞微米精度。曝光模型還提供了低反射硬面膜技術和幹蝕刻工藝，以實現光刻膠的高精度幹蝕刻。此外，該設備采用高效的直接激光束曝光系統，大大降低了光刻膠的曝光成本，節能。此外，該裝置的設計使各種操作能夠在晶片在機器中時直接在原地進行，從而確保環境足跡最小化。例如,可以在不進行晶圓操作的情況下完成高級陣列化過程,例如側壁陣列化、提升陣列化和銅焊陣列化。此外,該工具利用高分辨率成像資產來實現光學字符識別（OCR）、晶圓映射和缺陷分析。這樣就可以實時在線監測抗蝕劑沈積和暴露過程，從而提高產量。此外，TEL Clean Track ACT 12具有高性能、多軸機器人處理解決方案，幫助晶圓處理和處理操作，進一步提高晶圓產量。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一款功能強大的工具，能夠以卓越的分辨率在半導體行業中提升光刻性能。它還通過其節能的直接激光曝光模型提供了成本優勢，從而確保以最高效和精確的方式完成過程。