二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9395682 待售
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單擊可縮放
ID: 9395682
晶圓大小: 12"
System, 12"
Single block
FOUP Open cassette
No nozzles
No Stepper / Scanner interface
No hot / chill / transfer plates and types
No chemical cabinet
No T&H (Temperature and Humidity)
No power distribution box and AC transformer
No IDI and RRC pumps
No DEV and EBR systems
No HDD.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12光刻設備是一款高精度、自動化的光刻機，配備了高級功能，旨在減少汙染和提高性能。該系統能夠處理各種基板，並以最小的失真和精度產生高精度的結構。TEL Clean Track ACT 12采用了最先進的真空工藝,旨在在加工前清除基板上的氣泡、灰塵和其他汙染物。通過使用專門的高溫高壓清洗工藝進一步減少基板汙染。該裝置還包括一臺自動光學對準機，通過精確對準光刻工藝的每個步驟的基板和遮罩圖樣來提高精度。該工具利用高性能的12區曝光燈將基板精確地曝光，每個區域都由計算機控制的資產獨立控制。可以精確控制總曝光時間，以確保在不出現任何過量曝光的情況下進行精確的陣列。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12利用專門的遮罩臺組件，旨在保持高水平的振動控制和減少熱失真。此外,該模型還配備了多個控制器和反饋傳感器,用於監視臺面的壓力、溫度和振動,以使這些電平保持在規格範圍內。該設備還包括確保精確化學塗層的先進化學分配系統，以及回收光刻膠再利用的專門化學回收裝置。在光刻過程之後，機器配備了一個特殊的後處理單元，可以精確測量基板的輪廓，以驗證精度和檢測任何缺陷。後處理單元還用於協助清潔過程，清除化學殘留物和任何殘留汙染物。綜上所述，Clean Track ACT 12光刻刀具是一種高度先進的自動化光刻機器，旨在以最小的失真和精度生產高精度結構。該資產利用若幹先進的功能，以盡量減少汙染，提高準確性和性能。
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