二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9412474 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一種先進的光刻設備，設計用於對細膩敏感的電子材料進行精確、分步的處理。它使用獲得專利的面朝下精密跟蹤技術來處理具有多種精密配方的晶片。該系統由一個主軌道組成，一次最多可容納12個晶圓，最多可容納2個晶圓大小的分配閥，2個清洗棒，2個註射器泵閥，一個視覺盒式裝載機和一個射頻（RF）模塊。視覺盒式裝載機使設備能夠自動識別每個晶片並將其轉移到軌道中的適當位置。它還能夠根據晶片的大小和方向對齊晶片。TEL Clean Track ACT 12利用專門的光刻膠應用機在成品晶片上達到清潔一致的表面光潔度。采用浸漬和自旋塗層兩種主要方法，增加了多種特殊用途。精密軌道允許在清潔和無碎片的環境中精確和可重復地應用光刻膠，從而消除了成品晶片的潛在汙染。該機還具有兩個獨立的清潔條，一個用於光刻應用側，一個用於加工晶片的頂部和底部表面。可以使用不同的清潔劑對任何不需要的顆粒或殘留物進行徹底徹底的清除。還可以進行最後的沖洗，以幫助確保所有的光致抗蝕劑都被完全去除並且晶片沒有任何汙染物。該工具還配備了專用的射頻模塊，使操作員能夠調整光刻膠的曝光設置，以確保光刻膠的精確應用。此功能允許對曝光設置進行微調,以滿足每個晶片的確切要求,從而確保高精度和可重復的結果。該資產還設計用於快速和方便的維護，允許快速和毫不費力地清洗和更換晶片支架，光刻閥和其他部件。這確保了TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12的最佳性能,減少了停機時間並提高了生產率。