二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7 #293656056 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 7是一種光刻設備，由專門為高級記憶體和高密度裝置製造而設計的模組化平臺組成。該系統具有最高級別的自動化和過程控制功能,可用於多級光刻的精確和快速並行陣列。TEL Clean Track ACT 7是一種高度專業化的基於投影-光學點處理的設備，是TEL開發的一種創新的抗暴露技術。該技術采用單頭液晶（LC）投影單元，將微調的亞微米圖樣數據投射到曝光的抗蝕膜上小至1微米的照明區域。這樣就可以實現極其精確的圖像創建和清潔的抗性陣列。ACT 7機器還具有多種自動化功能,包括精密光掩模更換器和自動狹縫掃描抑制和曝光頭,使其能夠通過復雜的狹縫掃描保持高度精確的圖像創建,而不會影響圖像質量。該工具還具有將幾種抗蝕劑材料集成到同一晶片上的能力，使其適合多種工藝。此外,ACT 7還支持廣泛的過程,如暴露前烘烤（PEB）、暴露後烘烤（PEB）和發育後烘烤（PDB）。其先進的光刻軟件還支持多種圖像形成模式，包括自動光學接近校正（OPC）和先進的前後圖樣處理。綜上所述，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7是一款具有單頭液晶投影模型、自動狹縫掃描抑制和曝光頭、精密光掩模更換器和高度可靠的光刻軟件的先進光刻資產，能夠為高級內存和高密度設備制造提供精確、幹凈的圖樣。適用於廣泛的過程，如PEB和PDB，支持多種圖像形成模式。