二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138478 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8/ACT 12是一種光致抗蝕劑設備，用於創建具有亞微米元件的高分辨率圖樣，用於半導體和其他微電子元件等各種應用。該系統有兩種配置-ACT 8和ACT 12-並且能夠分別處理多達8英寸和12英寸的晶圓。該裝置采用先進的工藝控制算法，以確保準確、可重復的蝕刻結果，非常適合處理底層圖樣屬性在亞微米級高度可控的光致抗蝕層。該機采用微處理器控制的工藝和曝光工具，實現了亞微米特性的高精度制圖。TEL Clean Track ACT 8/ACT 12提供了一系列光刻和曝光選項,例如光學接近校正（OPC）、化學機械拋光（CMP）和紫外線（UV）和電子束（EB）抗蝕劑的激光蝕刻。該資產還為基板預處理、熱管理和晶片處理提供了一些先進的功能,例如用於應力/缺陷控制、邊緣侵蝕、穩定R處理和自動檢查的內置子系統。該模型還設計用於環境保護，其自動化過程可持續監測氣體使用情況和壓力水平，保持室內空氣供應，以防止交叉汙染和氣味形成。此外，設備還具有內置的安全功能，以確保達到最高保護標準。總體而言，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8/ACT 12為各種先進的光刻應用提供了有效的光刻系統。其處理8英寸和12英寸晶圓的能力,加上靈活的曝光和光刻選項,以及先進的工藝控制功能,使其成為使用亞微米元件創建高分辨率圖樣的理想解決方案。